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MML納米壓痕儀中的納米壓痕測(cè)試模塊兼容低載荷（納米力學(xué)測(cè)量）和高載荷（微米力學(xué)測(cè)量）。低載荷（納米力學(xué)測(cè)量）和高載荷（微米力學(xué)測(cè)量）各配備一個(gè)的 Berkovich 金剛石壓頭。Berkovich壓頭，金剛石的幾何參數(shù)如下：
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